超纯水电导率≤0.055μS/cm@25℃;电阻率:18.2ΜΩ·cm@25℃
微粒子(大于0.1μm)含量:﹤1/ml 热源含量:﹤0.005Eu/ml
微生物含量:﹤1cfu/ml 总有机碳量TOC≤5ppb
氧化矽含量(mg/L.max): ≤0.01
金属阳离子含量:(单位ppb):
Fe(铁)﹤0.005 Cu(铜)﹤0.005 Al(铝)﹤0.005 Ni(镍)﹤0.005
Zn(锌)﹤0.02 Cr(铬)﹤0.005 Na(钠)﹤0.01 K(钾)﹤0.02
阴离子含量:(单位ppb):
Clˉ(氯)﹤0.01 NO2ˉ(亚硝酸根)﹤0.02
NO3ˉ(硝酸根)﹤0.02 SO4²ˉ(硫酸根)﹤0.01
达到标准:中国分析实验室用水规格(GB6682-2000)一级水标准
美国(CAP、ASTM、NCCLS)超纯水水质标准
中国国家电子级超纯水规格(GB/T11446.1-1997)EW-I标准
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